ВУП-5

Остаточное давление в высоковакуумном объёме при охлаждении ловушки жидким азотом - 1,3Х10^-4 Па;
Остаточное давление в высоковакуумном объёме при охлаждении ловушки водой - 1,3Х10^-3 Па;
Ток накала испарителей - (200 + 5) А.;
Температура столика для нагрева объектов - 1100^оС.;
Температура столика для охлаждения объектов - минус 160^оС.;
Напряжение на выходе высоковольтного выпрямителя - (7 ± 0,3) кВ;
Максимальный ток тлеющего разряда 47 ± мА;
Температура в районе подложки устройства для осаждения пленок (время нагрева не более 30 мин.) - 300^оС.;
Время смены подложек не более 7 с., скорость вращения подложек не менее 0,5 с^-1.