ПЭМ-100

Разрешающая способность, нм. не более:
по кристаллической решетке - 0,35;
по точкам - 0,5;
Диапазон электронно-оптического увеличения, крат:
нижний предел - 30 ± 3;
верхний предел - 400000 ± 40000;
Ускоряющее напряжение, кВ - 25,0 ± 0,6, 50,0 ± 1,3, 75,0 ± 1,9, 100,0 ± 2,5;
Длина дифракционной камеры, мм. - 125, 250, 500, 1000, 1500, 2000;
Относительная нестабильность тока объективной линзы, 1/мин. не более - 2,5Х10^-6;
Относительная нестабильность ускоряющего напряжения, 1/мин. не более - 5Х10^-6;
Угол наклона пучка, град. - 1,5;
Предельное остаточное напряжение в колонне микроскопа, Па - 1,3Х10^-4;
Скорость загрязнения объекта, нм./сек., не более - 2Х10^-4;