ЭМ-200

Разрешаемое расстояние, нм - 0,8;
Скорость дрейфа столика объектов, нм./с., не более - 0,05;
Скорость загрязнения объекта при работе с устройством для защиты от загрязнения, нм./с., не более - 0,5Х10^-3;
Количество пластин в фотомагазине, шт. - 24;
Размер пластин, см - 9Х12;
Рабочее давление в электронной пушке микроскопа, Па, не более - 6,7Х10^-5;
Рабочее давление в колонне микроскопа, Па, не более - 6,7Х10^-4;
Ускоряющее напряжение, кВ - 25, 50, 75, 100, 125, 150, 175, 200;
Нестабильность ускоряющего напряжения за 1 мин., не более - 5Х10^-5;
пульсации ускоряющего напряжения, мВ эфф., не более - 200.